改进果蝇算法的压电微平台定位精度优化

微压电定位平台广泛应用于半导体光刻、微纳制造等高端精密领域，其固有的迟滞、蠕变非线性特性严重制约定位精度，传统果蝇算法优化易陷入局部最优、后期搜索精度不足，无法满足纳米级定位要求。本文针对该问题，提出融合混沌初始化、自适应步长调整与精英保留策略的改进果蝇算法，用于优化定位误差模型参数，补偿压电驱动非线性误差。实验验证，该改进算法可有效平衡全局寻优与局部开发能力，相较于传统方案，大幅降低压电微平台的定位稳态误差，提升动态响应性能与定位稳定性，为高端精密装备的纳米级定位提供了低成本可行的技术路径。